龙岩超声波流量计检测机构检测机构

真空系统主要包括真空泵和真空柱两部分。
真空柱是一个密封的柱形容器。
真空泵用来在真空柱内产生真空。有机械泵、油扩散泵以及涡轮分子泵三大类，机械泵加油扩散泵的组合可以满足配置钨枪的扫描电镜的真空要求，但对于装置了场致发射枪或六硼化镧枪的扫描电镜,则需要机械泵加涡轮分子泵的组合。成象系统和电子束系统均内置在真空柱中。真空柱底端即为右图所示的密封室，用于放置样品。之所以要用真空，主要基于以下两点原因:电子束系统中的灯丝在普通大气中会迅速氧化而失效，所以除了在使用扫描电镜时需要用真空以外，平时还需要以纯氮气或惰性气体充满整个真空柱。
为了增大电子的平均自由程，从而使得用于成象的电子更多。
电子经过一系列电磁透镜成束后，打到样品上与样品相互作用，会产生次级电子、背散射电子、欧革电子以及X射线等一系列信号。所以需要不同的探测器譬如次级电子探测器、X射线能谱分析仪等来区分这些信号以获得所需要的信息。虽然X射线信号不能用于成象，但习惯上，仍然将X射线分析系统划分到成象系统中。
有些探测器造价昂贵，比如Robinsons式背散射电子探测器，这时，可以使用次级电子探测器代替，但需要设定一个偏压电场以筛除次级电子

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自古以来流量测量都是人类文明一种标志。埃及人用尼罗河流量计来预报年成的好坏。古罗马人修渠引水，采用孔板测量流量。但是，由于经济生产后，直到本世纪50年代，工业中使用的主要流量计只有孔板、皮托管、浮子流量计三种。被测介质的范围也较窄，测量准确度也只满足低水平的生产需要。第二次世界大战后，随着国际经济和科学技术的迅速发展，流量计量日益受到重视，流量仪表随之迅速发展起来。为满足不同种类流体特性，不同流动状态下的流量计量问题，近30年来，先后研制出并投入使用的流量计有速度式流量计、容积流量计、动量式流量计，电磁流量计、超声波流量计等几十种新型流量计。

流量计主要有以下几种分类：
1.容积式流量计：利用固定的体积对流体流量进行累加计量的测量原理。例如椭圆齿轮流量计、腰轮流量计、活塞式流量计、刮板式流量计等。2.
差压式流量计：利用流体静压差与流过流体的流量有一定函数关系，通过测量静压差求得流量的测量原理。例如节流式流量计、均速管流量计等。
3.流体阻力式流量计：利用流体流动时给导管中的阻力体以作用力，而作用力的大小和流量大小有关的测量原理。例如转子流量计、浮子流量计、靶式流量计等。
4.速度式流量计：利用流体速度与流量成正比的丽数关系，通过测量速度而求得流量的测量原理。例如涡轮流量计、电磁流量计、超声波流量计等。
5.质量流量计：能够直接测量流体的质量流量，测量度高。例如科里奥利质量流量计、热式气体质量流量计等。
以上各种流量计的测量原理主要是基于力学、电学、声学、热学、光学和原子物理等原理。例如，力学原理的流量计有利用伯努利定理的差压式、转子式；利用动量定理的冲量式、可动管式；利用牛顿第二定律的直接质量式；利用流体动量原理的靶式；利用角动量定理的涡轮式；利用流体振荡原理的旋涡式、涡街式；利用总静压力差的皮托管式以及容积式和堰、槽式等等。电学原理的流量计有电磁式、差动电容式、电感式、应变电阻式等。声学原理的流量计有超声波式．声学式（冲击波式）等。热学原理的流量计有热量式、直接量热式、间接量热式等。光学原理的流量计有激光式、光电式等。原子物理原理的流量计有核磁共振式、核辐射式等。其它原理的流量计有标记原理（示踪原理）、相关原理等。