关键词 |
超纯水抛光树脂,陕西抛光树脂,超纯水抛光树脂,超纯水抛光树脂 |
面向地区 |
产品用途 |
水处理 |
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酸碱性 |
碱性离子交换树脂 |
离子型 |
阴离子交换树脂 |
溶解性 |
不溶于水 |
外观 |
浅黄色透明球状颗粒 |
牌号 |
过滤水中杂质 |
颗粒尺寸 |
0.315-1.25mm |
半导体抛光树脂是一种用于半导体制造过程中的材料,主要用于抛光半导体晶圆的表面。它能够去除晶圆表面的缺陷、氧化层以及其他污染物,使晶圆表面变得平滑,以提高半导体器件的性能和可靠性。 半导体抛光树脂通常由有机聚合物、磨料和添加剂组成。有机聚合物作为基础材料,能够提供树脂的粘结性和抛光性能;磨料则起到研磨晶圆表面的作用,常见的磨料有二氧化硅、氧化铝等;添加剂则用于调节树脂的黏度、pH值等特性,以及提供一定的抗氧化性能。 在半导体制造过程中,半导体抛光树脂通常通过机械抛光的方式应用于晶圆表面。晶圆被放置在旋转盘上,树脂涂敷在晶圆表面,然后通过旋转盘和抛光垫的摩擦作用,使树脂中的磨料研磨晶圆表面,达到平滑和去除缺陷的效果。 半导体抛光树脂具有良好的抛光性能、稳定的化学性质和可靠的机械性能,可以满足半导体制造过程中对晶圆表面质量的要求。同时,它还能够减少晶圆表面的残留污染物,提高半导体器件的性能和可靠性,因此在半导体制造工艺中得到了广泛应用。
EDI技术是将膜法和离子交换法结合起来的新工艺,基本原理主要包括离子交换、直流电场下离子的选择性迁移及树脂的电再生。水中的离子通过交换作用吸附于树脂颗粒上,再在电场作用下经由树脂颗粒构成的“离子传输通道”迁移到膜表面并透过离子交换膜进入浓室。由于离子的交换、迁移及离子交换树脂的电再生相伴发生,犹如边工作边再生的混床离子交换树脂柱,因此可以连续不断地制取的纯水、高纯水。
EDI系统由增压泵、膜堆、电源以及相应的仪器、仪表、阀门、机架、管道等组成。
Tulsimer MB-115:原装进口低阶核子级抛光树脂,进水电阻率10兆欧以上出水可稳定达到17.5兆欧,有 ,处理水量大:1L树脂可处理60-80吨水;
环保技术服务:销售机械设备、仪器仪表、电子产品、化学产品(不含危险化学品):货物进出口、技术进出口。(涉及许可经营项目,应取得相关部门许可后方可经营)
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